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华芯九天是华大九天与华芯联合去年成立的新公司,位于申城张江,距离中芯也就几分钟车程。

刘永锐对路阳的到来非常高兴,“老弟你现在是神龙见首不见尾啊?”

在完成EdA软件的补全后,刘永锐现在一心扑在华芯九天这边,尽管占股只占40%,但是他知道这边对于补全半导体产业链的重要性,再加上华大九天去年的形势一片大好,他管得也就少了。

“锐哥您才是神龙,我现在才体会到痛苦啊,简直就是身不由己!”路阳苦笑道,刘永锐是他极为认可的大哥,在对方身上学到了不少东西。

刘永锐仔细打量着路阳,“瘦了,也变壮了!来,尝尝,这是从老何那里搞来的好茶。”

他跟海思何洪年是多年同学,自从刘永锐把重心放到申城来后,两人没少聚,“这几个月确实辛苦了,外面都是你的传说,为你骄傲啊,有人托关系居然都找到我了。”

“怎么?”路阳好奇问道。

“还不是你嘴巴大,现在外界都知道我是你锐哥,今年局势不妙啊,各家都在抢芯片,有实力的就想整台光刻机,这不就找到我头上了吗?”

两人闲聊了一会,路阳便问道,“现在进度如何了?”

“你小子这是来视察工作来了,能忍到现在才问算是独一份了,外界都在传你是钢铁直男,万亿总裁竟然……,哈哈,这些报道我每次看到都能笑半天。”

刘永锐打趣到,“好了,说正事,90纳米精度的光掩膜版已搞定,100%国产化,但是,你忽然把精度提高到了28纳米,我听到这消息时,既高兴又是痛苦,还以为搞定90纳米可以休息下,结果忽然连升几级,这咋办啰,看来以后就是要为你路总打工的命了。”

路阳见刘永锐心情不错,“锐哥,你就别打趣了,应该是有好消息的吧。”

“好什么消息,过年都没得休息,前两天才搞定45纳米的光掩膜版,但是母版还是进口的,这就是现在的进度,我可没说假话啊。”

光掩膜版的主要差距在石英基底的高精度掩膜版上面,基本完全依赖岛国跟泡菜国进口,国产化率为零。

主要原因就是工艺水平和制程不达标,从原材料和设备的角度出发,包括菲利华的石英版还有部分光刻胶,确实可以和国外的先进水平媲美,设备方面国外在这块也是全面开发的。

制程水平的差距,核心就在掩膜版母版上,因为在掩膜版的制程中,曝光,显影,刻蚀的首要第一块就是掩膜版母版,母版上的缺陷决定了掩膜版的良率和制程水平,母版上的缺陷完美复制或扩大到掩膜版上,因此一块完美零缺陷的母版尤其重要。

“掩膜版制程基本就是曝光、显影、刻蚀,每个过程中都会产生缺陷,制程控制就是过程控制,越是细微的缺陷,去除率越低,越难控制,干扰因素也多。其次相同的原材料和设备,不同的工艺水平会导致设备或材料的性能无法发挥出来。”

刘永锐再次当起了老师,给路阳介绍道光掩膜版的工艺。

“所以说,我们现在的光掩膜版工艺水平仅仅到45纳米上,接下来要攻破的就是28纳米,14纳米,7纳米,至少还有3个级别。”路阳总结刘永锐的话。

“是这个理,14纳米与7纳米,如果要用EUV生产的话,光掩膜版也得匹配设计,技术难度更大。”刘永锐补充道。

路阳瞬间头皮发麻,这就是一切从头开始的感觉了,本来计划是来谈光刻胶的事,结果光掩膜版都还卡在45纳米上。

不用说路阳现在也明白过来,海思拿来的光掩膜版也是进口的。

“你中有我,我中有你!”路阳想起紫光老总吴成顺的话。

“老弟,淡定,淡定,虽然说还有3个级别要追赶,但现在不是没有机会,我们可以跟国内的其他厂家合作,人多力量大嘛,这个月我邀请了十几家相关企业来申城,就是为了解决这个问题。”

路阳在科技树中查看光掩膜版的资料,记得当初给过刘永锐的。

“廖老那边不是把工艺技术给过你了吗?”

“是给了啊,就是因为有资料才有这速度,3个月从0到1,做到45纳米,资料的落地转化,国产替代,这些都很耗时,特别是一些特殊的制造设备,现在完全不能进口了,只能自己制造。”

“所以,你打算把资料公开,邀请相关企业来共同完成。”路阳明白过来刘永锐的思路,难怪他如此淡定,技术突破不是最大难题,生产才是,只靠华大九天一家,这速度已经是极限了。

刘永锐喝了口茶,认真说道,“从一开始就邀请了,只是那时华芯的光刻机还没流片成功,大家都在观望,认为太超前了,现在他们同意共同研发主要有两个原因,一是华芯体系逐渐完善,有了案例,二是贸易战开始了,大家都想要快速弥补这块市场。”

这也就是为什么华芯坚持产业链共同发展的思路,企业都是逐利的,光掩膜版的设备原料去年还是完全开放的,明显造不如买,现在忽然禁止了,一窝蜂的又都涌进来。

“锐哥,其实我这次来不是为了光掩膜,而是为了光刻胶。”路阳直接说道。

“是啊,我早想到了的,这东西比光掩膜版更复杂,还没资料,我也无从着手,国内现在的最先进的替代品就在90纳米制程,对了,苏硅的座舱芯片不是45纳米的吗?”

路阳苦笑道,“去年囤了很多,预计还能坚持一年,但是按现在的产能,如果提速的话最多10个月。”

“10个月啊!老弟玩得可够大的,光刻胶不像掩膜版,纯粹的就是经验跟配方。”

这点路阳倒是不怎么担心,有系统在。

“锐哥不知道苏硅的抛光液配方是我做的吗,我在这方面有天赋,现在最关键的是你要赶快把生产的设备,原料配齐。”

“放心交给我,最迟3月中旬,给你搞定,在建厂的时候,这两项本来就是我们的目标。”

3月中旬吗?

应该来得及吧!