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第一三八六章 光刻机的现状(下)

“董事长,要是Nikon在我们之前,率先攻克157nm激光器技术,率先研发成功65nm制程工艺的光刻机,我们如何应对?”

cto汤普森知道EUV光刻机不是短时间内能研制成功的,也主张两条腿走路,GcA研究院如今也在研发157nm激光器,由于GcA一直以研发EUV为主,157nm激光器的技术远不如Nikon和SVG,投资10美元,要是能够收购SVG,拿到SVG独有的157nm激光器需要配置的反折射镜头技术,不能反超Nikon,也能同Nikon并肩齐驱。

孙董事长不同意公司收购SVG,汤普森也不理解。

EUV LLc联盟规划投资2亿美元,集合200多位顶尖科学家,目的就是从理论上验证了EUV光刻机的可行性?理论验证完成后,EUV LLc联盟将宣布解散,将研制EUV和EUV光刻机的难题交给GcA,据同行在一起估算,研发投资起码要花50亿美元!

汤普森领导EUV LLc联盟的200多位科学家,研究了2年多,还没有验证清楚EUV光刻机的可行性?

“汤普森院长的担忧也有道理,除了加强研发力量继续研究157nm激光器技术外,艾德里安先生可以同papken先生接触一下,看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利?价格可以商量?”

papken是SVG的首席执行官。

孙健本来不想在董事会上谈论收购SVG的事情,但汤普森的提问代表GcA高层的疑惑,不得不正面回应。

当时因为bSEc研究院光源研究所还没有研发成功193nm浸没式光刻机技术,孙健不反对GcA研究院两条腿走路,但bSEc研究院光源研究所去年已经研发成功193nm浸没式光刻机技术,GcA再继续投入巨资研发157nm激光器就是多此一举,但也不能打击众人的积极性。

“好的,董事长!”

艾德里安心里好奇,为什么孙董事长不同意收购SVG?似乎对研发157nm激光器技术不是特别支持,难道还有更好的方法?明白papken不会低价出售反折射镜头技术的专利。

“汤普森院长,EUV LLc联盟一旦从理论上验证了EUV光刻机的可行性后,要是GcA继续研发EUV光刻机,理论上大概需要多少投资?”

孙健转移话题,也是告诉公司高层,GcA账上的现金流不是多了,而是远远不够。

前世,EUV LLc联盟的几百位顶尖科学家在一起联合研发了6年多,发表了几百篇科研论文,从理论上验证了EUV光刻机是可行的,目的达到,解散了EUV LLc联盟,接下来的实际问题都抛给了ASmL,面对如此高深的技术,ASmL是选择做还是不做?

ASmL一家之力不可能完成研制成功EUV光刻机这项宏伟工程,不得不拿出公司近三成的股权,向下游光刻机重要客户Intel、台积电和三星电子融资了60多亿美元!

据说为了研发EUV光刻机,ASmL前前后后在将近20年时间内投入上百亿美元的研发费用。

GcA和Nikon占据光刻机的高端市场,技术水平不分仲伯,但由于高端光刻机用户Intel、Ibm、It、Adm、hp同GcA既是Sematech会员,又是GcA的股东,采用一致对外的策略,GcA的高端光刻机是首选,GcA如今占据全球高端市场份额的近7成,NiKon占3成多。

在技术水平相同的情况下,市场起决定因素。

根据光刻机技术和市场占有率,GcA如今成为名副其实的全球老大,Nikon屈居第二。

Nikon想从GcA的手里抢回Intel、Ibm、It、Adm、hp的高端光刻机订单,只能率先攻克193nm波长的世界性难题,第一个研发成功65nm制程工艺的光刻机才有可能。

在Nikon技术领先的情况下,Intel、Ibm、It、Adm、hp就会以公司的利益为重。

ASmL的工程师琼斯带领20多人的研发部门经过3年多时间的研发,于1996年9月,研发成功全球第二款具有自主知识产权的光刻机双工作平台系统,但为时已晚,ASmL和其他光刻机公司都购买了bSEc的专利技术,自己生产光刻机双工作平台系统,bSEc负责升级;除了GcA,其他公司生产一台光刻机需要缴纳相当于每台光刻机售价1%的专利使用费。

GcA如今已经升级配套90nm制程工艺的磁悬浮式双工作台系统技术,遥遥领先于ASmL的技术,按照专利技术转让协定,bSEc交给了Nikon、ASmL、canon和SVG。

全球光刻机用户已经习惯使用bSEc磁悬浮式双工作台系统技术,ASmL在中高端光刻机上还是使用bSEc的,在低端光刻机上使用自研的。

魏建国等bSEc的高层们都敬佩孙董事长的远见卓识,1999年度,公司光靠这项全球领先的公司发明专利,收取的专利技术转让费就达到公司净利润的16.5%,这些年赚得盆满钵满。

ASmL先后在阿姆斯特丹和纳斯达克上市,研发资金有了保障,去年10月,第三个研发成功180nm制程工艺的光刻机,技术水平排在canon的前面,凭借欧洲和韩国光刻机市场,占据全球中高端市场5成的市场份额。

第三大股东飞利浦公司不看好ASmL的发展前景,加上公司电器业务出现问题,造成资金紧张,在高位逐渐清空了ASmL的股票,退出了董事会,蔡司集团成为第三大股东。

ASmL如今总股本增加到万股(去年10送5股),tIc持有2250万股,占股15%,这些年没有买也没有套现。

ASmL在纳斯达克市场上的股票收盘23.5美元,tIc持有的股票市值万美元,1993年,tIc投资了1800万美元,赚了28倍多!

tIc要是在1993年在道琼斯市场上投资1800万美元购买GcA的股票,在今年3月前套现,可以赚329倍!

在孙健的眼里,ASmL不仅是一个投资品种,也是一个备胎。

“孙总,据大家私下估算,没有50亿美元的投入,看不到EUV光刻机的影子。”

汤普森感觉压力巨大,孙董事长似乎知道研究EUV光刻机的重要性和难度,投入巨资,最后失败了,GcA可能要破产!

众董事也是一脸惊讶,这是第一次从汤普森的口里得知,即使EUV LLc联盟验证EUV光刻机的可行性,GcA继续研发EUV光刻机,起码还需要50亿美元的研发投入!

一旦失败,对GcA将造成毁灭性的打击,但孙董事长似乎并不担心。